下载多层级标准模块的工艺解耦和工序组合控制系统的技术资料

文档序号:23762537

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本发明实施例公开了一种多层级标准模块的工艺解耦和工序组合控制系统,所述系统采用多层级控制系统管理工艺解耦和工序组合,包括成套标准模块、顺序控制模块和队列模块;所述成套标准模块,用于对所需的功能进行整体规划,实现解耦的工艺过程标准化和工序组合...
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