下载位移大小与方向的高精度单光路测量方法及装置的技术资料

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一种位移大小与方向的高精度单光路测量方法及装置;所述方法是在被测物体上安装反射镜,且沿光轴方向移动,入射光沿光轴方向垂直进入光子晶体,出射后垂直射向反射镜并原路返回,在光轴方向上入射光与反射光叠加在光源和反射镜之间形成驻波共振,反射镜和光子...
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