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一种基于熔融石英衬底的太赫兹在片校准件制造方法技术
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文档序号:23761043
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本发明公开了一种基于熔融石英衬底的太赫兹在片校准件制造方法,具体包括如下步骤:101)晶片加工步骤、102)表面处理步骤、103)初步制作步骤、104)二次处理步骤;本发明提供制造出高性能的开路结构、短路结构、直通结构、负载结构、延时结构的...
该专利属于浙江铖昌科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江铖昌科技有限公司授权不得商用。
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