下载一种基于熔融石英衬底的太赫兹在片校准件制造方法的技术资料

文档序号:23761043

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本发明公开了一种基于熔融石英衬底的太赫兹在片校准件制造方法,具体包括如下步骤:101)晶片加工步骤、102)表面处理步骤、103)初步制作步骤、104)二次处理步骤;本发明提供制造出高性能的开路结构、短路结构、直通结构、负载结构、延时结构的...
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