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基于非共面H型谐振器和蟹腿型支撑梁的双轴体微机械谐振式加速度计制造技术
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下载基于非共面H型谐振器和蟹腿型支撑梁的双轴体微机械谐振式加速度计的技术资料
文档序号:23760298
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本发明公开了一种基于非共面H型谐振器和蟹腿型支撑梁的双轴体微机械谐振式加速度计。加速度计由质量块(1)、蟹腿型支撑梁(2)、激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)、引线梁(6)、框架(7)组成。质量块(1)的重心位于4根蟹腿型支撑梁(2)...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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