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本发明一种高精度薄膜应力在线测试方法及装置。通过在承载梁固定端的FBG1测试薄膜沉积过程中的基底烘烤温度引起的光纤光栅的布拉格波长的变化量Δλ...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

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