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本申请涉及涂层制备技术领域，提供了一种氢燃料电池金属双极板用Ti/TiCN纳米涂层的制备方法及设备，该方法包括：采用脉冲等离子体技术，在氩气流量为120sccm的预真空室里进行反应，产生的Ti等离子体轰击金属双极板的表面，在金属双极板的表面...
该专利属于欧伊翔所有，仅供学习研究参考，未经过欧伊翔授权不得商用。

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