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本发明提供了一种铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钪金属原料进行熔炼，得到钪熔体，在所述钪熔体中加入第一铝原料，第一熔炼后得到第一铝钪合金；B)在所述第一铝钪合金水冷后再加入第二铝原料，按照步骤A)的第一熔炼进行后得到第二铝钪合金...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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