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一种多晶铸锭炉的节能真空泵制造技术
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下载一种多晶铸锭炉的节能真空泵的技术资料
文档序号:23747114
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本实用新型涉及多晶铸锭炉领域,公开了一种多晶铸锭炉的节能真空泵,针对现有技术中的多晶铸锭炉用真空泵配置不利于节能和缺乏噪音消除装置的问题,现提出如下方案,其包括多个炉体、安装座和真空泵,多个所述炉体的一侧均固定有固定管,所述固定管上安装有阀...
该专利属于浙江巨瑜电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江巨瑜电子有限公司授权不得商用。
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