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一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置制造方法及图纸
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下载一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置的技术资料
文档序号:23746254
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本实用新型公开了一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置,包括:真空箱体和位于所述真空箱体内的被镀件固定架、被镀件移动机构、溅射阴极、阴极运动机构;本实用新型相比于传统的平面镀膜装置,是两个零件两个表面同时进行磁控溅射镀膜,根据溅射基板的尺寸,可以...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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