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本发明专利公开了一种纳米级薄膜图案电化学刻蚀加工系统及其加工方法，系统包括具有纳米级孔径的毛细管、电解液暂存容器、电解系统、电解液流出控制系统、湿度控制系统、支撑密闭箱、运动定位平台、显微视觉摄像机、减震平台、加工件放置基座和控制计算机；该...
该专利属于贺晶莹所有，仅供学习研究参考，未经过贺晶莹授权不得商用。

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