下载用于芯片封装中图形化纳米颗粒的微焊点互连方法及产品的技术资料

文档序号:23707810

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本发明属于芯片封装领域,并公开了一种用于芯片封装中图形化纳米颗粒的微焊点互连方法及产品。该方法包括下列步骤:(a)待处理晶圆上包括图形化的焊盘区域和非焊盘区域,在焊盘区域上光刻形成光刻胶覆盖层;(b)对待处理晶圆进行气相沉积形成一层有机疏水...
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