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本发明涉及一种硬X射线光电子能谱系统，其包括X射线源，该X射线源提供提供光子束，引导光子束通过该系统以从所照射样品激发电子。X射线管连接到单色仪真空室，在单色仪真空室中，晶体配置为单色化光子束并且将光子束聚焦到所照射样品上。半球形电子能量分...
该专利属于盛达欧米科有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛达欧米科有限公司授权不得商用。

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