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本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种基于四路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置。所述面内检测MEMS陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、至少一个磁阻基板、及隧道磁阻器件；隧道磁阻器件通过敏感到...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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