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一种不凝气体精确掺杂系统及方法技术方案
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文档序号:23701650
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一种不凝气体精确掺杂系统,包括标准容器、真空泵、不凝气气瓶、气体掺杂容器、气体阀门一、气体阀门二、气体阀门三,通过利用气压差实现不凝气体的掺杂,同时通过监控控温时标准容器的气压差实现气体掺杂的精确控制,解决了热管工质充装领域内对于不凝气体的...
该专利属于北京空间机电研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京空间机电研究所授权不得商用。
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