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本发明涉及一种超声电机的闭环运动控制的方法，该超声电机包括至少一个致动器，至少一个致动器具有摩擦装置、至少一个激励电极和至少一个公共电极，该超声电机还包括待驱动元件、控制器和至少一个发电机，至少一个发电机用于产生被施加到致动器的电极并由此产...
该专利属于物理仪器(PI)两合有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过物理仪器(PI)两合有限公司授权不得商用。

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