下载一种干气中去除固体颗粒的碳化硅膜过滤器及其应用的技术资料

文档序号:23655400

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本发明公开了一种干气中去除固体颗粒的碳化硅膜过滤器及其应用。本发明提供的碳化硅膜过滤器包括筒体(1)和设置在筒体(1)内的碳化硅膜滤芯(2),设置在筒体(1)顶端的上封头(3),设置在筒体(1)底端的下封头(4),设置在下封头(4)上的进气...
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