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本实用新型公开了一种喷头装置，属于原子层沉积技术领域，包括喷头本体，喷头本体在垂直于柔性膜的移动方向的一个侧面上，在所有先导气工作区和缓冲区以及气体隔离面均匀开设有若干平行布置的进气管道，另一个侧面上在开设有若干平行布置的排气管道，且进气管...该专利属于陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨所有，仅供学习研究参考，未经过陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨授权不得商用。