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本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材烧结炉,集成控制系统设置三相电源输入端,三相电源输入端并联有电源控制电路、升降驱动电路、炉温控制电路和炉压控制电路,电源控制电路设置有电源启动模块、人机输入界面、PLC控制单元,升降驱动电路设置有一...该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。
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