下载仪器保护装置及仪器保护方法的技术资料

文档序号:23632908

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在仪器保护装置中,具有:第1传感器,其检测在包含发热体的仪器的的冷却中使用的制冷剂的温度;第2传感器,其检测仪器的温度;以及控制器(10),其基于通过第1传感器检测出的第1检测温度和通过第2传感器检测出的第2检测温度,对仪器施加驱动限制,控...
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