下载基板保持构件和半导体制造装置的技术资料

文档序号:23632602

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本发明的基板保持构件,是具备由板状的陶瓷构成的主体,和覆盖所述主体的表面的覆膜的基板保持构件,其中,设所述陶瓷的断裂韧性为K...
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