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用于图案化处理的装置包括：输入气体(2)的源；适合于在等离子体区域中从输入气体(2)产生等离子体的能量源；以及被构造用于接收固体样品(5)的接地样品架(12)。根据本发明，该装置包括被布置在等离子体区域和接地样品架(12)之间的掩模(4)，...该专利属于道达尔公司;综合工科学校;科学研究国家中心所有，仅供学习研究参考，未经过道达尔公司;综合工科学校;科学研究国家中心授权不得商用。