下载用于检查样品的多通道共焦传感器和相关方法的技术资料

文档序号:23631864

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一种多通道共焦传感器,其包括光源(14)、聚焦透镜布置(10)以及光学检测器(25)。该传感器还包括:‑第一光学集成电路(11),其布置为将来自所述宽频带光源的光束(24)分离成多个发射光束,所述多个发射光束施加到发射孔(29)的高密度阵列...
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