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本发明涉及一种ScAlN SAW谐振器的制备方法，该方法包括以下步骤：a、在金刚石衬底上生长ZnO缓冲层；b、在ZnO/diamond上生长ScAlN压电层；c、采用电子束蒸发在ScAlN/ZnO/diamond上生长Al电极层；d、采用电...
该专利属于天津理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津理工大学授权不得商用。

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