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本发明公开了一种物镜畸变和场曲的测试装置及方法、设备。所述物镜畸变和场曲的测试装置包括照明系统、掩膜版、掩膜版台、物镜、对准模块和工件台，其中，掩膜版包括四个标记组合，每个标记组合包括多个标记，对准模块包括分别与四个标记组合一一对应的四个传...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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