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本发明涉及一种基于平面光波导技术制作的集成反射镜的晶圆芯片。本发明开发了一种新的基于平面光波导技术晶圆级测试以及制作光学组件的方法。本发明可以实现对晶圆上每一个颗粒芯片的性能进行测试，从而能够在晶圆制造过程的早期建立合格标准、筛选不良，让光...
该专利属于博创科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过博创科技股份有限公司授权不得商用。

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