下载静电吸盘系统、成膜装置、被吸附体分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法的技术资料

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本发明的静电吸盘系统的特征在于,该静电吸盘系统包括:静电吸盘,包括多个电极部;电压施加部,用于对所述静电吸盘的所述电极部施加电压;以及电压控制部,用于控制由所述电压施加部施加的电压,所述电压控制部控制所述电压施加部,以相对于吸附有第1被吸附...
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