下载玻璃蚀刻液和玻璃蚀刻方法的技术资料

文档序号:23620904

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本发明公开了一种玻璃蚀刻液和玻璃蚀刻方法。该玻璃蚀刻液基于其总重量,包括10~30%的强酸、5~20%氟盐、2~5%的金属螯合剂、4~6%的氨基多元醇和0.5~1%的丙烯酸聚合物。选择氟盐和强酸的组合为蚀刻体系提供氟离子和氢离子,整个反应中...
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