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本发明公开了一种长波长垂直腔面发射激光器，在有源层背向n型衬底一侧表面设置有环形本征层，在环形本征层内侧设置有p型重掺杂层以及位于p型重掺杂层背向n型衬底一侧表面的n型重掺杂层以构成掩埋隧道结结构。通过p型重掺杂层和n型重掺杂层形成隧穿导通...
该专利属于长春中科长光时空光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春中科长光时空光电技术有限公司授权不得商用。

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