下载微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法的技术资料

文档序号:23607139

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本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法,涉及微型发光二极管领域。所述微型器件转移头包括基础衬底、位于基础衬底上的多个可磁化的金属柱、位于基础衬底上且包围金属柱的保护层以及位于基础衬底背面的环形螺线管。本发明通过微型器件...
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