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本发明涉及一种同步监测溶液温度和pH的集成式GaN基传感器及制法。所述传感器，其特征在于，包括由下至上设置的衬底层、应力缓冲层、GaN外延层、AlGaN势垒层、欧姆接触电极、肖特基接触电极和封装材料层；所述AlGaN势垒层包括第一凸起、第一...
该专利属于宁波铼微半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波铼微半导体有限公司授权不得商用。

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