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一种次级电子发射薄膜材料的高效简易制备方法技术
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文档序号:23596874
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一种次级电子发射薄膜材料的高效简易制备方法,属于薄膜材料的制备技术领域。以表面光滑平整的硅片、银片、FTO玻璃为基底材料,以乙酸镁和乙酸锌作为主要前驱体物,氮气作为载气,在对基底加热的条件下,通过气凝胶化学气相沉积结合高温退火,制备获得Mg...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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