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一种低横向灵敏度的MEMS弹簧质量结构，采用MEMS体硅工艺加工而成，包括基座、第一MEMS弹簧、横向稳定质量块、第二MEMS弹簧和中心检测质量块，基座通过第一MEMS弹簧与横向稳定质量块的外侧连接，横向稳定质量块的内侧通过第二MEMS弹簧...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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