下载一种激光平面干涉仪的技术资料

文档序号:23567456

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本实用新型公开了一种激光平面干涉仪,包括密封罩,密封罩内底部设置有微调平台,微调平台上放置有置物台,密封罩顶部两侧对称设置有电动伸缩杆,一侧电动伸缩杆上固定伺服马达,伺服马达输出端设置有主转动台,另一侧电动伸缩杆固定有伺服马达,伺服马达输出...
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