下载用于使用多个光束来写可成像材料的方法和装置的技术资料

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一种用于使用多个光束来写可成像材料的方法,包括:准备后续图案,每个图案具有Y个N像素位置的行,所述后续图案包括第一和第二图案;其中第一图案和第二图案在由像素位置的O列和Y行组成的重叠区域中与彼此重叠;对所述第一图案的每行i选择Mi1个像素位...
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