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用于使用多个光束来写可成像材料的方法和装置制造方法及图纸
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下载用于使用多个光束来写可成像材料的方法和装置的技术资料
文档序号:23563828
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一种用于使用多个光束来写可成像材料的方法,包括:准备后续图案,每个图案具有Y个N像素位置的行,所述后续图案包括第一和第二图案;其中第一图案和第二图案在由像素位置的O列和Y行组成的重叠区域中与彼此重叠;对所述第一图案的每行i选择Mi1个像素位...
该专利属于赛康印前公众有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛康印前公众有限公司授权不得商用。
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