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本发明提供一种基于原子力显微镜的纳米尺度热导‑电畴原位表征装置包括：纳米热学‑机电信号原子力显微镜原位激励平台，对被测纳米功能材料样品原位激发微区热学‑机电信号；纳米热学‑机电信号原位检测平台，对所述微区热学‑机电信号进行原位实时检测及数据...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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