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本发明涉及一种三维共聚焦的微束X射线应力仪，包括：X射线源系统，X射线滤波片，毛细管X光会聚透镜，毛细管X光半透镜或平行束透镜，X射线探测器，五维样品台，测角仪，控制系统和计算机；其中，样品置于五维样品台上；所述X射线源系统，X射线滤波片和...
该专利属于北京师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京师范大学授权不得商用。

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