下载基于闪耀光栅拼接技术的检测结构及其拼接误差调整方法的技术资料

文档序号:23556204

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基于干涉原理的拼接镜面用边缘传感器及其工作方法,特征是在被测拼接镜面的子镜拼缝上放置平晶或者球面透镜,其前表面完全增透,后表面设置镀膜;在被测拼接镜面的子镜和平晶或球面透镜的另一侧放置平行光源,其光线经过半透半反棱镜垂直入射到平晶或者球面透...
该专利属于中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所授权不得商用。

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