下载一种箱式天然气球化退火工艺的技术资料

文档序号:23553380

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本发明提供一种箱式天然气球化退火工艺,该箱式天然气球化退火工艺包括以下步骤:(1)将工件置于真空退火炉中,并抽真空至1atm;(2)通入高纯氮气作为载气,将所述退火炉复压,对炉内进行第一阶段升温,再抽真空,并进行第一次保温,(3)第一次保温...
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