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本发明提供一种低硼磷高纯硅的制备工艺，涉及低硼磷高纯硅生产技术领域。包括以下步骤：制备原料、酸洗除金属杂质、氧化精炼除磷、改进型热交换法除硼、还原提纯。本发明采用酸洗的方式除去工业硅内的金属杂质，再通过氧化精炼和改进型热交换法除去工业硅内的...
该专利属于南京合创工程设计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京合创工程设计有限公司授权不得商用。

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