下载全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法的技术资料

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本发明涉及全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法,装置包括:固定部可拆卸于全口径抛光机床的横梁上;竖直驱动部连接于固定部上,且远离全口径抛光机床横梁的一侧,滑动部沿竖直方向上可滑动连接于竖直驱动部上;精密力传感器固定于滑动部上,...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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