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本发明实施例提供一种切割设备抽排装置，包括：光发射模块、罩壳、气流模块、排尘模块和载台；罩壳为至少底部具有开口的空腔；光发射模块包括激光器和场镜；气流模块包括至少两个气流单元：第一气流单元和第二气流单元，用以形成第一气流和第二气流，第一气流...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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