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本发明的高温碳化炉，包括有：一腔体、至少两组微波单元，以及一控制电路；各微波单元，依序沿着腔体的加工路径配置；其该控制电路用以接收复数个分布于腔体的加工路径处的温度感测器的讯号；可透过控制电路产生控制讯号以控制不同微波单元当中的磁控管开启或...
该专利属于永虹先进材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过永虹先进材料股份有限公司授权不得商用。

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