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本发明涉及一种制备太阳能电池背电极的磁控溅射镀膜生产线，包括筒形的腔室，腔室被依次由高阀分隔为样片进入段、低压真空室一、主溅射室、低压真空室二以及样片出仓段，在腔室的顶部设置了有输送带的传送装置，在输送带的下部悬挂有多个放置有待溅射背电极样...
该专利属于杭州纤纳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州纤纳光电科技有限公司授权不得商用。

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