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本发明提供陶瓷加热器(10)，其具备：具有载置晶片的晶片载置面(20a)并内置有电阻发热体(22)的陶瓷制的板(20)；和一端与板(20)的背面接合的陶瓷制的筒状轴(30)。筒状轴(30)的纵截面的形状是具备至少在一处具有S字形部分或者拐点...
该专利属于日本碍子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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