下载用于减少气体渗透到真空腔室中的油脂通道的技术资料

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一种飞轮装置,该飞轮装置包括:封壳;顶板,该顶板紧固至封壳,其中,顶板包括第一开口;以及盖,其中该盖具有顶侧和底侧,当被紧固到第一开口时在底侧与第一开口之间形成密封件,该底侧包括:O形环沟槽,O形环沟槽构造成保持O形环;油脂通道,该油脂通道...
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