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本实用新型系提供一种用于半导体器件的多位吸尘装置，包括支架，支架上固定有吸尘支撑板和电机支撑板，吸尘支撑板上固定有吸尘管，吸尘管的一端设有吸尘通孔；电机支撑板上连接有通气板，通气板上固定有导气摩擦座，通气板上设有负压导气通道，导气摩擦座上设...
该专利属于东莞市中之电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中之电子科技有限公司授权不得商用。

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