下载一种长条高真空阴极电弧靶装置的技术资料

文档序号:23440815

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种长条高真空阴极电弧靶装置,真空室用于放置长条高真空阴极电弧靶装置,包括:主支撑架、阳极、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件;主支撑架上安装所述旋转部件;旋转部件与阴极靶材固定连接,并进行旋转动作;阳极...
该专利属于北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。