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本发明属于高速光学相干层析测量领域,具体涉及一种全光纤高速光学相干层析扫描装置,其目的在于解决光学相干层析扫描装置成像速度慢和扫描误差大的问题。该相干层析扫描装置在高频压电驱动器驱动下,压电陶瓷堆带动一个轻质量的中空回射器做一维高频振动,对...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明属于高速光学相干层析测量领域,具体涉及一种全光纤高速光学相干层析扫描装置,其目的在于解决光学相干层析扫描装置成像速度慢和扫描误差大的问题。该相干层析扫描装置在高频压电驱动器驱动下,压电陶瓷堆带动一个轻质量的中空回射器做一维高频振动,对...