下载用于光声气体传感器的检测器模块的技术资料

文档序号:23431073

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本发明公开了用于光声气体传感器的检测器模块,其包括:第一衬底(11;21;31;41),其由半导体材料制成并且包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面;第二衬底(12;22;32;42),其包括第三表面、与所述第三表面相对的第四表面、以及...
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