下载一种硅片取放料装置的技术资料

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本实用新型公开了一种硅片取放料装置,包括龙门架运动机构和吸盘组件,龙门架运动机构水平设置,龙门架运动机构包括作为纵梁的X轴直线电机和作为横梁的Y轴直线电机,X轴直线电机连接于Y轴直线电机的两端,Y轴直线电机由X轴直线电机驱动沿X轴方向平移,...
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